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基于Skyverse @ Klarity 的良率管理系统

IVY-Struct

这份文件介绍了一款名为 IVY-DMS/YMS 的良率管理系统软件,主要用于半导体制造领域的良率分析和提升。以下是文件的主要内容:

产品介绍:

IVY-DMS/YMS 是一款用于分析检测、量测等良率相关数据的工具。它利用统计分析和机器学习方法,以及定制化的工作流,生成丰富的良率报表,为工程师提供决策支持。该系统能够及时发现产线异常状态,协助 PIE、YE、PE 和 AOI 等工程师分析产线良率下降的原因,从而有效地提升半导体制造良率和产品性能。

系统架构和功能:

文件中的示意图展示了 IVY-DMS/YMS 的系统架构,包括客户端、服务器端以及与各种生产设备的连接。主要功能包括:

  • IVY-DMS:
    • 缺陷分类和统计分析
    • 自定义工作流
    • 异常分析
    • 空间特征分析
    • 叠图分析
  • IVY-YMS:
    • 全维度良率数据管理
    • 智能根因分析
    • 虚拟量测
    • 预测性维护
    • 交叉分析
    • 良率预测

系统通过与各种设备(如传感器、WIP、缺陷检测设备、量测设备、WAT 测试设备、CP/FT 测试设备等)连接,获取生产过程中的各种数据,包括 FDC 数据、MES 数据、检测数据、薄膜 CD/Overlay 数据、WAT 数据、Bin Map 数据等。然后,通过 IVY 服务器进行数据处理和分析,最终以报表的形式呈现给用户。

产品特点:

文件还列出了 IVY-DMS/YMS 的主要特点:

  1. **简单易用的 IVY 界面:**支持拖拽分析、动态布局和高度自定义,满足用户的个性化需求。
  2. **Browser/Server 架构:**支持快速迭代和定制开发,轻松应对各种场景需求。
  3. **GPU 运算与分布式架构:**确保 7x24 不间断运行,并能流畅分析百万缺陷数据。
  4. **机器学习与深度学习模型:**结合大数据分析,为根因分析、预测性维护和虚拟量测提供全方位解决方案。
  5. **数据安全无忧:**采用集群方案,具有负载均衡、数据备份与恢复功能,确保系统的稳定与可靠。
  6. **依据各类数据建立 AI 模型:**预测产品良率,助力良率提升。
  7. **节省 80% 以上人力:**自动化监控与良率分析助力企业效益增长。

总而言之,这份文件旨在推介一款功能强大的半导体良率管理系统软件,通过提供全面的数据分析和智能化功能,帮助半导体制造商提高生产效率和产品质量。